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[会议论文] 作者：李士一,骆仕丹,裴永其,罗正怡,江晓禹,
来源：四川省第二届实验力学学术会议 年份：2011
采用等离子体化学气相沉积(PCVD)方法在Si(100)基体上沉积DLC(diamond-likecarbon)类金刚石薄膜，利用台阶仪测量了薄膜的厚度和应力，并用轮廓仪测量了薄膜的相变法向弯曲变...
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