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[期刊论文] 作者:谢均宇, 来源:家长 年份:2021
“全身流线型,尾巴似扫把,眼睛小而鼓,小嘴圆又圆。”同学们,你们能猜到这是什么吗?没错,这就是过生日时姐姐送给我的礼物——两条小金鱼“白点儿”和“无染”。  这超凡脱俗的名字可是我取的哦!一条小金鱼身上除了橘色外,还有一些白点,所以我叫它“白点儿”。另一条除......
[期刊论文] 作者:谢均宇,杨亚兵,孙勇,, 来源:电子工业专用设备 年份:2010
在实现了高效晶圆传输全自动控制的基础上.阐述了靶室晶圆传送系统运动部件的结构和各自的功能;介绍了整个晶圆传输控制系统的设计思路,在采用高性能多轴运动控制卡和机械手模块......
[期刊论文] 作者:谢均宇,刘海霞,张磊,杜佳伟,卓祖亮,石倩楠, 来源:电子工业专用设备 年份:2020
针对离子注入机的晶圆传输过程,提出了一种提高晶圆传输效率的方法,在晶圆自动传输的基础上,对机械手传输动作、电机动作进行优化,节约不必要的时间消耗,提高了晶圆机械传输...
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