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[期刊论文] 作者:公发全,李刚,谭艳楠,张敏,周徐阳,牟宗信,刘万发,董闯,, 来源:真空科学与技术学报 年份:2015
采用电子束蒸发镀膜工艺,在不同的基底材料上镀制了Al和Al2O3/Al薄膜,研制了国际热核聚变实验堆光学诊断中用具有较高反射率薄膜第一镜。通过中频脉冲偏压方法产生氢等离子体...
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