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[期刊论文] 作者：贾京英,,
来源：电子工业专用设备 年份：2014
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[期刊论文] 作者：颜秀文, 贾京英,,
来源：电子工业专用设备 年份：2010
综述了聚焦离子束系统的结构和基本原理,介绍了国产化聚焦离子束系统的结构与特点。基于国产化聚焦离子束系统进行了硅材料刻蚀实验,研究了硅材料刻蚀速率与离子束流大小的关...
[期刊论文] 作者：郭忠君,贾京英,刘咸成,,
来源：自动化与仪器仪表 年份：2012
在SIMOX工艺制作过程中，氧离子注入的均匀性对SOI材料表面硅厚度的均匀性和SiO2埋层厚度的均匀性起着直接的决定性的作用。文章介绍了一种氧离子注入均匀性控制系统的工作原理...
[期刊论文] 作者：刘咸成,贾京英,唐景庭,
来源：电子工业专用设备 年份：2005
对强流氧离子注入机的注入靶室进行分析探讨,对影响均匀性指标的靶盘结构、束的形状和束扫描注入方式进行研究,结合主体硬件,增加晶片自旋装置和采用新的扫描方式,来提高注入...
[期刊论文] 作者：全廷立,刘咸成,贾京英,,
来源：真空 年份：2012
本文研制了一种较高档的磁控溅射镀膜设备,用于微电子器件规模化生产过程中的基片表面镀膜。该设备采用双真空室结构,使溅射室始终维持较高的真空度和洁净度,提高镀膜质量和...
[期刊论文] 作者：唐超凡,贾京英,王娟,颜秀文,
来源：电子工业专用设备 年份：2014
太阳能电池测试分选设备用于晶体硅太阳能电池的性能测试和自动分选。介绍了中国电子科技集团公司第四十八研究所开发的全自动晶体硅太阳能电池测试分选设备的系统构成,重点...
[期刊论文] 作者：贾京英,杨建生,朱志农,周倜,
来源：微细加工技术 年份：1989
本文介绍了为满足程控用户交换机各种使用要求而研制的稳压电源的工作原理、技术指标和测试结果。...
[期刊论文] 作者：颜秀文,贾京英,刘威成,王慧勇,
来源：电子工业专用设备 年份：2004
简要介绍了高温离子注入靶室的设计.通过设计辅助加热装置使离子注入时晶片表面温度达到500℃以上,并通过靶盘旋转和往返平移扫描的方式实现了晶片片内和片间的温度均匀性,满...
[会议论文] 作者：贾京英,伍三忠,乔思雄,廖炼斌,
来源：第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会 年份：2005
本文对SIMOXSOI材料的顶层硅和SiO2埋层的厚度及均匀性进行了分析计算,并对注入过程中影响注入能量和剂量的参数进行了改进和控制,结果表明,有效地保证了材料中顶层硅和SiO2埋层的厚度及均匀性的指标.......
[期刊论文] 作者：谢贵久,刘利民,何迎辉,贾京英,景涛,,
来源：微处理机 年份：2011
采用将类光激发二极管(即N-Si/Thin-SiO2/Thin-Ta/PdCr/Pt结构)、PdCr合金薄膜电阻、Pt加热和感温双电阻温控系统等集成的方式,研制了微型薄膜集成氢气敏感器件,能稳定测量0~2%体积分数的氢气,且具有较快的响应和恢复时间。......
[期刊论文] 作者：颜秀文,贾京英,刘咸成,王慧勇,,
来源：电子工业专用设备 年份：2010
简要介绍了高温离子注入靶室的设计。通过设计辅助加热装置使离子注入时晶片表面温度达到500℃以上,并通过靶盘旋转和往返平移扫描的方式实现了晶片片内和片间的温度均匀性,...
[会议论文] 作者：颜秀文,贾京英,刘咸成,王慧勇,
来源：2010年中国电子制造技术论坛 年份：2010
本文介绍了高温离子注入靶室的设计。通过设计辅助加热装置使离子注入时晶片表面温度达到500℃以上，并通过靶盘旋转和往返平移扫描的方式实现了晶片片内和片间的温度均匀性，满足了碳化硅掺杂、SOI晶片制造等特殊需要。......
[期刊论文] 作者：唐景庭, 伍三忠, 贾京英, 郭健辉, 刘咸成,,
来源：集成电路应用 年份：2003
制备SOI材料的SIMOX技术因其工艺简单、易控制、重复性好、成本低、易向商业化过渡等优点而引起了SOI材料界更为广泛的关注。SIMOX技术所需要的最关键的设备就是大束流专用氧...
[会议论文] 作者：贾京英,唐景庭,伍三忠,刘咸成,郭健辉,
来源：第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会 年份：2003
SOI材料中顶层硅的质量直接影响到制做的器件性能.本文对顶层硅中出现的位错现象进行了分析,并结合实验,提出了相应的解决措施....
[期刊论文] 作者：蓝镇立,程文进,刘咸成,贾京英,龚杰洪,
来源：电子元器件资讯 年份：2004
利用自制的磁控溅射沉积设备,针对影响SiO2薄膜沉积速率的氩气流量,氧气分压两个关键参数进行工艺研究,并通过扫描电子显微镜(SEM)对沉积完成的Si不O2薄膜表面、剖面结构质量...
[期刊论文] 作者：蓝镇立,刘咸成,全廷立,贾京英,龚杰洪,
来源：电子元器件资讯 年份：2004
本文介绍了一种独特的贵重金属溅射靶的结构设计,并在此基础上对贵重金属磁控溅射薄膜工艺进行研究,结果表明新型靶的设计可以有效提高靶材利用率达60%以上,沉积的Au薄膜具有...
[会议论文] 作者：刘咸成,唐景庭,伍三忠,贾京英,郭建辉,刘求益,,
来源：集成电路应用 年份：2003
本文描述注氧机在制作SOI(SIM0X)材料时,注入过程对顶层硅中产生粒子污染的影响,结合SIMS测试结果,从光路结构、电器参数、靶室等方面阐述粒子污染的机理,并提出相应的解决措...
[会议论文] 作者：唐景庭,刘咸成,伍三忠,贾京英,郭建辉,刘求益,
来源：第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会 年份：2003
本文描述SOI材料制备工序中,注氧机对SOI材料在离子注入过程中产生粒子污染,影响其顶层硅的性能,结合SIMS测试和ICP-ABS测试的结果,从光路结构、电器参数、靶室等方面分析粒子污染的机理,并提出相应的解决措施.......
[期刊论文] 作者：唐超凡,魏唯,宁宗娥,王学仕,王娟,贾京英,颜秀文,
来源：电子工业专用设备 年份：2011
太阳能电池测试分选设备是晶体硅太阳能电池生产专用设备,可用于太阳能电池转换效率以及电性能参数测量。所有的测量结果可以自动分类,自动保存。该设备在测试系统设计、分选...
[期刊论文] 作者：朱一心,黄焕文,何喜冠,杨建生,宗庆,余永雄,贾京英,
来源：微细加工技术 年份：1985
本文介绍一种可供聚焦离子束装置用的镓液态金属离子源。该离子源的亮度高、发射源尺寸极小、发射电流稳定、调节方便、没有气体负载,适用于各种超高真空装置,是进行微离子束...
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