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[学位论文] 作者：贾文柱,,
来源：大连理工大学 年份：2018
容性耦合硅烷混合气体放电在沉积与芯片相关的硅基薄膜中具有至关重要的作用。研究容性耦合硅烷等离子体特性以及其放电化学反应机理过程对优化硅烷放电特性、开发芯片新工艺...
[学位论文] 作者：贾文柱,,
来源：大连理工大学 年份：2004
在集成电路与电子设备制造工艺中,氮氧化硅薄膜被广泛应用于电介质与钝化层等方面,这主要是因为氮氧化硅薄膜拥有好的光学性能以及稳定性,同时兼备二氧化硅与氮化硅的大部分...
[期刊论文] 作者：贾文柱,
来源：山西政报 年份：2013
今年以来,全乡各级党组织在乡党委的正确领导下,加强党组织建设,党的执政基础进一步夯实,经济建设稳步发展,人民生活显著改善,民主法制建设取得新进步,社会管理逐步完善,全乡...
[期刊论文] 作者：贾文柱,
来源：能源环境保护 年份：1991
天府矿务局磨心坡煤矿重视锅炉房污染的防治工作,取得了效益。该矿锅炉房在安装两台KZL2—13型和KZL4—13型锅炉的同时,考虑了废水、废气和废渣的治理...
[期刊论文] 作者：贾文柱,,
来源：煤矿环境保护 年份：1992
为消除压风机、鼓风机、抽风机的噪声污染,改善职工的工作环境,天府矿务局磨心坡煤矿对矿属所有的压风机、鼓风机、抽风机安装了消音除声降噪装置。自安装使用...
[会议论文] 作者：贾文柱,王喜凤,宋远红,王友年,
来源：第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会 年份：2013
近年来，在射频等离子体放电中引入脉冲调制技术成为新的研究热点。与连续射频放电模式相比，脉冲调制放电可以降低基板温度，改善沉积和刻蚀速率，而且电源关闭以后，电子温度下降较快，等离子体中的负离子也可以逃离主等离子体区。所以对于电负性等离子体，可以减少基板电荷......
[期刊论文] 作者：宋柳琴,贾文柱,董婉,张逸凡,戴忠玲,宋远红,
来源：物理学报 年份：2022
随着集成电路技术的快速发展,芯片结构更加复杂,尺寸越来越小,对薄膜沉积的性能提出了更高的要求.等离子增强化学气相沉积（PECVD）与CVD等传统工艺相比,可以在低温下实现镀膜,提供高密度、高性能的薄膜.本工作采用二维流体蒙特卡罗模型耦合沉积剖面演化模块研究了......
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