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[期刊论文] 作者：高鸿钧,肖桂里,刘惟敏,赵兴珏,于洪滨,薛增泉,
来源：真空科学与技术 年份：1993
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[期刊论文] 作者：高鸿钧,刘惟敏,赵兴珏,于洪滨,薛增泉,肖桂里,
来源：真空科学与技术 年份：1993
本文描述了离子团束(ICB)镀薄膜装置与飞行时间质谱计(TOFMS)联合系统的研制,此系统不仅可以制备无机材料和有机聚合物薄膜而且还能制备金属超微粒子-有机聚合物薄膜。用TOFM...
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