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[期刊论文] 作者:赵友洲, 来源:微电子学 年份:1991
本文根据惠更新-菲涅耳原理,研究了提高光刻分辨率,提高光刻套准精度和在制版困难的条件下光刻亚微米线条的几种方法;并用实验证实了结论。...
[期刊论文] 作者:赵友洲,张萍, 来源:微电子学与计算机 年份:1989
本文报道了利用自设计的PECVD系统成功地在光刻胶上淀积SiO_2,满足了在微细加工技术的三层胶工艺中对中间介质层的要求。淀积温度为200~280℃,反应气体是SiH_4—N_2O体系。...
[期刊论文] 作者:Sangio,E,赵友洲, 来源:微电子学与计算机 年份:1989
本文介绍了用新的多接触点测试结构证头三维CMOS闩锁效应的实验,并对宽实验器件的中心部分做了一定分析,可得到与数值模拟相符合的准二维实验数据....
[会议论文] 作者:赵友洲,孙有民, 来源:第十届全国半导体集成电路、硅材料学术会 年份:1997
该文介绍了关于硅栅CMOS深槽隔离技术的测试器件、电路、图形的版图设计研究。...
[会议论文] 作者:赵友洲,孙有民, 来源:第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议 年份:1995
[期刊论文] 作者:赵友洲,丁秀英, 来源:安徽中医学院学报 年份:1994
中西医结合治疗食管癌10例赵友洲,丁秀英(六安地区人民医院237005)关键词:食管癌;辨证论治;喃氟啶食管癌是一种呈区域性高发的恶性肿瘤,属中医“噎膈”范畴。笔者于1985年以来,用中西医结合的方法......
[期刊论文] 作者:赵友洲,张萍,张礼德, 来源:微电子学与计算机 年份:1989
本文报道了利用自设计的PECVD系统成功地在光刻胶上淀积SiO_2,满足了在微细加工技术的三层胶工艺中对中间介质层的要求。淀积温度为200~280℃,反应气体是SiH_4—N_2O体系。T...
[期刊论文] 作者:SELMI,赵友洲,, 来源:微电子学与计算机 年份:1989
本文介绍了用新的多接触点测试结构证头三维CMOS闩锁效应的实验,并对宽实验器件的中心部分做了一定分析,可得到与数值模拟相符合的准二维实验数据.In this paper, we intro...
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