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[期刊论文] 作者：路险峰,李金钗,郭怀喜,张志宏,叶明生,
来源：中国物理快报（英文版） 年份：2002
CNx thin films were prepared using low pressure plasma enhanced chemical vapour deposition, and then bom-barded by low-energy N+2. The compositions before and a...
[会议论文] 作者：路险峰;李金钗;郭怀喜;张志宏;叶明生;,
来源：第四届中国功能材料及其应用学术会议 年份：2001
采用低压等离子体增强化学气相沉积法(LP-PECVD)制备氮化碳薄膜;低能离子注入机对制备的薄膜进行N注入掺杂.X射线光电子能谱(XPS)分析了N注入前后氮化碳薄膜中N、C的含量及其...
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