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[期刊论文] 作者：李戈扬,张流强,辛挺辉,,
来源：真空科学与技术学报 年份：1999
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[期刊论文] 作者：李戈扬,施晓蓉,辛挺辉,吴亮,李鹏兴,
来源：上海交通大学学报 年份：1999
通过双靶轮流反应溅射的工艺方法制备了ＴｉＮ／ＡｌＮ纳米混合膜．采用ＸＲＤ衍射、ＴＥＭ和显微硬度等测试方法对ＴｉＮ／ＡｌＮ纳米混合膜的微结构和力学性能进行了研究．结果表明，ＴｉＮ／ＡｌＮ纳米混合膜的晶粒大小为１０～２０ｎｍ；薄膜总体表现出......
[期刊论文] 作者：李戈扬,辛挺辉,吴亮,李鹏兴,张流强,
来源：真空科学与技术 年份：1999
采用多靶磁控溅射制备了 Ｗ／ＳｉＣ纳米多层膜。并用 ＸＲＤ和 ＴＥＭ研究了 Ｗ／ＳｉＣ纳米多层膜的微结构。研究表明，Ｗ／ＳｉＣ纳米多层膜的调制结构界面平直、清晰、周期性好；ＳｉＣ调制层为非晶态，Ｗ调制层在大调制周期为纳米......
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