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[学位论文] 作者:邓煜恒, 来源:华中科技大学 年份:2023
随着摩尔定律发展速度逐渐减缓,MOSFET特征尺寸的继续缩小面临诸多物理极限的限制,如源漏急剧增加的串联电阻。为此,肖特基势垒源漏MOSFET(SB-MOSFET)应运而生,它能显著降低源漏区的寄生电阻。另一方面,高迁移率沟道材料(Ge和Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体)有望代替硅作为CMO......
[期刊论文] 作者:严垒, 吴飞飞, 邓煜恒, 湛玉龙, 马志斌,, 来源:金刚石与磨料磨具工程 年份:2012
利用Nd:YAG型金刚石精密激光切割机对表面经机械抛光的CVD金刚石膜进行切割,研究了激光焦点位置、重复频率、充电电压以及切割速率对切割面质量的影响,并利用扫描电子显微镜(...
[期刊论文] 作者:严垒,马志斌,张璋,邓煜恒,王兴立,, 来源:强激光与粒子束 年份:2013
利用Nd:YAG型金刚石精密激光切割机,采用激光轴向偏焦法对化学气相沉积(CVD)法制备的金刚石膜表面进行扫描式平整化处理,利用扫描电子显微镜(SEM)、粗糙度仪和金相显微镜对平整化后......
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