搜索筛选:
搜索耗时3.7634秒,为你在为你在102,285,761篇论文里面共找到 1 篇相符的论文内容
发布年度:
[学位论文] 作者：邢瑞远,
来源： 年份：2017
皮拉尼真空计是利用压强改变电阻周围的热效应,从而由电信号反映发热电阻周围压强的一种气压检测传感器。MEMS加工技术的快速发展,推动着微机械皮拉尼真空计的工艺不断成熟。其中,选择合适的材料制作悬浮平板会是提高皮拉尼真空计性能的关键因素之一,一般微机械......
相关搜索：
