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[期刊论文] 作者：邱小莎,
来源：微细加工技术 年份：1990
本文介绍了在电子束曝光机中,电定位系统脱离电子束曝光机进行单独调试的一种方法,同时给出一组数学表达式和实验数据。这种方法采用通用仪器和设备,简便有效,在电定位系统实...
[期刊论文] 作者：邱小莎,曾岳阳,
来源：微细加工技术 年份：1993
要对电子束扫描场畸变进行修正,首先要进行扫描场畸变的测量。我们采用单标记进行电子束扫描场畸变测量,有其独特的优点。本文介绍了我们的检测方法和通过曝版所观察到的修正...
[会议论文] 作者：邱小莎,曾岳阳,
来源：第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会 年份：1999
主要介绍电子束曝光机中，对束斑进行数字化自动测量的基本原理，介绍束斑自动测量译标记的要求和设计，以及为实现束斑自动测量对数字硬件电路所作的特别设计。...
[期刊论文] 作者：邱小莎,伍三忠,孙勇,
来源：微细加工技术 年份：2005
为了使离子注入机满足生产线工艺的要求,控制系统的设计必须使控制功能完善、控制命令响应迅速、命令执行准确可靠、异常处理迅速有效和整机工作稳定可靠.LC19离子注入机控制...
[会议论文] 作者：邱小莎,曾岳阳,刘东明,
来源：第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会 年份：1999
电定位技术是电子束曝光机的一项重要技术。它可对电子束扫描场畸变进行修正，从而使电子束曝光的图形能够进行场与场之间的精确拼接；它还能对曝光过程中电子束的零漂进行修正，从......
[会议论文] 作者：刘东明,邱小莎,曾岳阳,
来源：第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会 年份：1999
介绍了ＤＢ７－亚微米电子束曝光机上电定位检测与修正程序的目的和原理，并叙述了该程序的设计思想和具体实现。...
[期刊论文] 作者：龙会跃,李岳,邱小莎,钟新华,,
来源：工业加热 年份：2009
根据快速退火炉加热系统的组成，利用热量传递的基本理论定性地分析了满足热处理工艺指标时加热系统所需的热功率以及影响快速退火系统温度均匀性的因素。在此基础上提出了热源......
[会议论文] 作者：郭忠君,刘求益,邱小莎,周建伊,刘冬明,
来源：第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会 年份：2003
电子束曝光是迄今为止分辨率最高的微细加工手段之一,是生产及研制微电子器件及特种微型器件的关键性技术.文章介绍了我所最新研制的M24100-1/UM型电子束曝光机的主要技术指标、原理、结构及实验结果,并扼要介绍了影响电子束图形精度变化的主要原因及具体解决措......
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