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[期刊论文] 作者：黄祯宏,邱恒德,
来源：半导体学报 年份：2006
使用直接键合晶圆工艺制作SOI晶圆.分别讨论了晶圆净度与表面平坦度对于键合晶圆缺陷的影响,还通过将氧化层生长在不同晶圆上的方法,比较不同方法对于挠曲度的影响.结果表明,...
[期刊论文] 作者：黄祯宏，邱恒德，HuangChenhung，ChiouHerngde,
来源：城市道桥与防洪 年份：2006
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥...
[会议论文] 作者：邱恒德,游元信,林淑萍,黄冠文,
来源：上海市有色金属学会、上海市金属学会半导体材料专委会学术年会 年份：2004
半导体用硅晶棒主要是使用CZ法长晶.在长晶过程中因温度梯度及长晶速率之变动致使点缺陷不平衡而产生D-缺陷(V-rich,COP,FPD)和A-缺陷(Large Dislocation Loops),由于D-缺陷...
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