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[会议论文] 作者：王民娟,张浩,周瑞,冯震,邵璀琦,
来源：电子显微学报 年份：2001
随着微波通讯的迅猛发展,对器件的频率要求越来越高,线条也越来越细,尤其工作在千兆频率下的低噪声放大器,栅长不能超过0.4μm,在目前较先进的光学显微镜下看到的仅仅是一条...
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