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[期刊论文] 作者：范永平,罗晋生,邹望杰,
来源：西安交通大学学报 年份：1987
本文研究了硅中离子注入层的卤钨灯辐照快速退火,对注B 和注P 样品分别测量了经1100℃、15秒和1050℃、12秒退火后注入层的载流子浓度分布,并与950℃、30分钟常规热退火样品...
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