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[学位论文] 作者:邹泉波,, 来源: 年份:2004
改革开放以来,我国的房地产业得到迅速发展,一个个现代化的住宅小区拔地而起,随之带来了物业管理方面的问题。目前我国的物业管理尚处于初级发展阶段,与香港、新加坡等地区的物业......
[期刊论文] 作者:邹泉波, 来源:黑龙江水利科技 年份:2005
超低温冻结制冷系统采用的双级压缩制冷循环,其容积比、能效比以及各相关参数的调整直接影响制冷系统的区别效率.文章从理论分析出发,结合实际生产中的调整方案,希望能为超低...
[期刊论文] 作者:张健, 邹泉波, 来源:青岛建筑工程学院学报 年份:2005
阐述了当前青岛市城市供热的状况.通过对不同能源供热的技术经济比较和对天然气的特性以及国内外开发应用情况的分析,结合青岛天然气规划状况,认为青岛市采用天然气是一种适...
[期刊论文] 作者:邹泉波,刘理天, 来源:半导体学报 年份:1995
本文提出了两种测量悬空薄膜内应力的新方法:阈值电压法和长梁挠曲法,对两种方法进行了理论分析与实验验证,并与已有的应力测量方法进行对比,取得了吻合的效果。这两种方法测试非......
[期刊论文] 作者:邹泉波,刘理天, 来源:半导体学报 年份:1996
本文提出的一种纹膜结构单硅片微麦克风,采用了硅微机械技术,且实现了麦克风电容两电极之间的自对,大大提高了麦克风的生产效率,降低了成本。...
[期刊论文] 作者:邹泉波,刘理天, 来源:仪表技术与传感器 年份:1996
本文研究了硅表面微机械加工薄膜的形成工艺及技术。通过调整各种薄膜生长、掺杂以及退火的条件,得到了较低的薄膜残余应力(LPCVD多晶硅膜30MPa压应力,LPCVD富硅氮化硅帮PECVD氮化硅膜约100MPa张应力,Al膜在30MPa范......
[期刊论文] 作者:邹泉波,刘理天, 来源:电子学报 年份:1997
本文提出一种新型的微型硅电容式麦克风结构及制造方法:单硅片纹膜结构及制造方法,首次实现了纹膜麦克风的制作,对这种结构的麦克风进行了初步设计并制造了一系列结构尺寸的微麦......
[会议论文] 作者:邹泉波,刘理天, 来源:第四届全国敏感元件与传感器学术会议 年份:1995
该文用解析法分析了有初始应力的导电直梁在静电作用下横向弯曲的小挠度行为,并用能量法对大挠度行为进行挠度、阈值电压和临界压缩应变的分析,结果表明,能量法分析简单、有效,比......
[会议论文] 作者:邹泉波,刘理天, 来源:全国纳米科学与技术学术会议 年份:1994
[会议论文] 作者:邹泉波,刘理天, 来源:第四届全国敏感元件与传感器学术会议 年份:1995
[会议论文] 作者:邹泉波,刘理天, 来源:第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议 年份:1995
[期刊论文] 作者:邹泉波,刘理天,李志坚, 来源:半导体学报 年份:1996
本文提出的一种纹膜结构单硅片微麦克风,采用了硅微机械技术,且实现了麦克风电容两电极之间的自对准,大大提高了麦克风的生产效率,降低了成本.纹膜结构有降低和消除膜内应力的作用......
[期刊论文] 作者:邹泉波,刘理天,李志坚, 来源:半导体学报 年份:1995
本文提出了两种测量悬空薄膜内应力的新方法:阈值电压法和长梁挠曲法.对两种方法进行了理论分析与实验验证,并与已有的应力测量方法进行了对比,取得了吻合的结果.这两种方法测试非......
[期刊论文] 作者:邹泉波,刘理天,李志坚, 来源:电子学报 年份:1997
本文提出一种新型的微型硅电容式麦克风结构及制造方法;单硅片纹膜结构及制造方法,首次实现了纹膜麦克风的制作.对这种结构的麦克风进行了初步设计并制造出一系列结构尺寸的微麦......
[期刊论文] 作者:邹泉波,刘理天,李志坚, 来源:仪表技术与传感器 年份:1996
本文研究了硅表面微机械加工薄膜的形成工艺及技术。通过调整各种薄膜生长、掺杂以及退火的条件,得到了较低的薄膜残余应力(LPCVD多晶硅膜30MPa压应力,LPCVD富硅氮化硅膜和PE...
[期刊论文] 作者:邹泉波,刘理天,李志坚, 来源:仪器仪表学报 年份:1995
本文研究了用多晶硅梁测量薄膜机械特性的几种方法,在已有技术的基础上,提出了两种测量悬空薄膜内应力的新方法:阈值电压法和长梁挠曲法。对两种方法进行了理论分析与实验验证,取......
[期刊论文] 作者:管锡珺, 张秀德, 王新华, 邹泉波, 来源:青岛建筑工程学院学报 年份:2005
设计了双区厌氧反应器:下部污泥膨胀区在强水力作用下,消除了UASB的配水问题,加强了传质和预处理能力,刺激了厌氧微生物的生长和颗粒化进程;上部精处理区颗粒污泥生长条件好....
[会议论文] 作者:邹泉波,谭智敏,刘理天,李志坚, 来源:第四届全国微米/纳米技术学术会议 年份:2000
本文提出一种新颖的硅浮栅驻极体微麦克风.驻极体由周围被高质量绝缘层所隔离的浮栅电极和里面的净电荷形成,净电荷是PN结雪崩击穿所产生的热电子注入效应提供的,其工作温度可高达300°C.同时,由于驻极体可重复充电,大大提高了麦克风的工作寿命.该麦克风的制备......
[会议论文] 作者:邹泉波[1]谭智敏[2]刘理天[2]李志坚[2], 来源:第四届全国微米/纳米技术学术会议 年份:2000
本文提出一种新颖的硅浮栅驻极体微麦克风.驻极体由周围被高质量绝缘层所隔离的浮栅电极和里面的净电荷形成,净电荷是PN结雪崩击穿所产生的热电子注入效应提供的,其工作温度...
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