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[学位论文] 作者：郁元卫,,
来源：南京大学 年份：2012
多模多频无线通信、智能于机、雷达、卫星通信等对频率捷变高性能射频集成芯片的需求,使基于射频MEMS技术的可重构网络技术得到广泛的重视。国际上基于射频MEMS技术的可重构...
[期刊论文] 作者：郁元卫,
来源：固体电子学研究与进展 年份：2021
为满足电子系统小型化高密度集成、多功能高性能集成、小体积低成本集成的需求,硅基异构集成和三维集成成为下一代集成电路的使能技术,成为当前和今后的研究热点.硅基三维集...
[期刊论文] 作者：郁元卫,姜理利,朱健,,
来源：固体电子学研究与进展 年份：2013
报道了一款开关线型Ka波段MEMS移相器，采用了16只悬臂梁结构MEMS开关，实现了4位相移。采用阶梯阻抗共面波导（CPW）传输线设计，实现了一种新型而紧凑的移相器阻抗匹配的结构。采用RF......
[期刊论文] 作者：郁元卫,贾世星,朱健,,
来源：固体电子学研究与进展 年份：2010
基片集成波导（SIW）结构是在低损耗的基片上利用金属孔构成的波导结构，具有高品质因数、大功率特性和易于集成的优点，是最近微波电路研究的热点技术。滤波器是微波毫米波电路中最......
[期刊论文] 作者：侯芳,朱健,郁元卫,陈辰,
来源：光学精密工程 年份：2009
为了增加天线带宽，提高天线机械稳定性，改善天线性能，提出并设计制作了一种工作在35GHz的硅基MEMS渐变式缝隙天线。针对渐变式缝隙天线在毫米波频段介电常数高、衬底极薄、易碎......
[期刊论文] 作者：朱健,郁元卫,张勇,贾世星,
来源：固体电子学研究与进展 年份：2005
南京电子器件研究所采用微机械工艺和硅衬底集成波导技术成功研制出了Q值大于180的单片集成MEMS微波谐振器.该谐振器采用SIW(衬底集成波导)技术形成单片硅填充腔体结构.采用...
[期刊论文] 作者：侯芳,朱健,郁元卫,陈辰,,
来源：光学精密工程 年份：2009
为了增加天线带宽,提高天线机械稳定性,改善天线性能,提出并设计制作了一种工作在35GHz的硅基MEMS渐变式缝隙天线。针对渐变式缝隙天线在毫米波频段介电常数高、衬底极薄、易...
[期刊论文] 作者：侯芳,朱健,郁元卫,贾世星,,
来源：固体电子学研究与进展 年份：2016
为了解决毫米波段滤波器因倒扣焊安装引起的性能恶化问题,本文基于MEMS技术提出了联合仿真设计方法,将MEMS介质集成波导滤波器芯片与罗杰斯介质板利用三维高频仿真软件HFSS进...
[期刊论文] 作者：黄镇, 朱健, 郁元卫, 姜理利,,
来源：固体电子学研究与进展 年份：2004
设计了一种4 bit毫米波MEMS移相器驱动电路,主要由24 bit串并转换电路、高压控制电路和升压电路组成。利用24 bit串并转换电路和高压控制电路,实现了波控机控制系统与MEMS移...
[期刊论文] 作者：侯智昊,朱锋,郁元卫,朱健,,
来源：固体电子学研究与进展 年份：2012
设计了一种应用于毫米波波段的串联接触式RF MEMS开关。为了在毫米波波段获得较高的隔离度,通过使用短截线结构,以降低输入输出端口的耦合电容。为了获得可靠的金属接触,设计...
[期刊论文] 作者：郁元卫,朱健,姜理利,施毅,,
来源：固体电子学研究与进展 年份：2012
报道了一种Ka波段实时延MEMS移相器芯片。该移相器基于开关线式移相器设计原理,集成了4个MEMS三端口直接接触式毫米波开关单元,使用共面波导（CPW）传输线,利用阶梯阻抗的方式实...
[期刊论文] 作者：郁元卫,贾世星,朱健,陈辰,,
来源：传感技术学报 年份：2008
本文提出一种静电驱动直接接触式宽带MEMS开关,包含CPW传输线、双U型金属悬臂梁、触点和锚区,兼顾了开关接触可靠、克服微结构粘连和低驱动电压三大结构可靠性设计因素。本开关为三端口开关,使用低温表面微机械工艺,制作在400μm厚的高阻硅衬底上,芯片尺寸0.8mm......
[期刊论文] 作者：侯智昊,朱锋,郁元卫,朱健,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2004
设计并制造了一种应用于毫米波波段的串联接触式RF MEMS开关.为了在毫米波波段获得较高的隔离度,在RF MEMS开关的输入、输出端口使用细长型的接触端,以降低输入、输出端口的...
[期刊论文] 作者：侯智昊,朱锋,郁元卫,朱健,,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2012
设计并制造了一种应用于毫米波波段的串联接触式RF MEMS开关.为了在毫米波波段获得较高的隔离度,在RF MEMS开关的输入、输出端口使用细长型的接触端,以降低输入、输出端口的...
[期刊论文] 作者：戴永胜,张宇峰,李宝山,朱健,郁元卫,,
来源：微波学报 年份：2009
介绍了一种毫米波RF-MEMS单片集成反射型0/π移相器的设计、制造和测试。实测性能与设计结果吻合较好,达到的电性能指标为:在35GHz-38GHz频率范围内,电压驻波比小于1.8,参考...
[期刊论文] 作者：侯芳,朱健,郁元卫,吴璟,陈辰,,
来源：传感技术学报 年份：2008
为了提高天线带宽,改善天线性能,提出并设计了一种基于微机械工艺的层叠式口径耦合毫米波天线,该天线中心频点为35GHz,利用有限宽地共面波导—微带（FGCPW-MS）进行馈电。分析天...
[期刊论文] 作者：陶子文, 孙俊峰, 朱健, 郁元卫,,
来源：固体电子学研究与进展 年份：2004
设计了一种Ku波段MEMS隔离器。该隔离器的微波铁氧体嵌入放置在MEMS工艺制作的硅腔体内,内导体和负载电阻以及接地孔采用MEMS工艺制作在高阻硅片上,最后利用集成封装技术实现...
[期刊论文] 作者：杜国平, 朱健, 郁元卫, 姜理利,,
来源：电子工业专用设备 年份：2017
利用静电驱动原理设计了一种新颖的射频硅膜RF MEMS开关,其开关的优点在于：巧妙的运用CPW传输线的地线作为下电极,加大了开关驱动面积,减小了驱动电压;利用硅膜作为结构层,利...
[期刊论文] 作者：郁元卫, 张洪泽, 黄旼, 朱健, 张斌,,
来源：固体电子学研究与进展 年份：2004
南京电子器件研究所根据射频组件芯片化的发展趋势,在国内首先提出了硅基射频微系统架构,在203.2 mm(8英寸)硅晶圆上,建立起了TSV射频转接板的设计/工艺能力,通过基于TSV...
[期刊论文] 作者：张勇,郁元卫,贾世星,朱健,陈辰,,
来源：传感技术学报 年份：2008
滤波器是微波毫米波电路中的一个重要部件,本文介绍了采用基片集成波导技术和ICP深刻蚀微机械通孔阵列的硅基MEMS滤波器。设计制作了MEMS滤波器的核心部件谐振器,测试结果显...
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