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[会议论文] 作者：郑润华;朱俊;罗文博;陈竑;李言荣;,
来源：第十二届全国电介质物理、材料与应用学术研讨会 年份：2008
本文采用脉冲激光沉积法在(0001)取向的蓝宝石基片上生长了TiN导电薄膜，研究了沉积温度、激光能量对其微结构、表面形貌和电学性能的影响规律。X-射线衍射和原子力显微镜分析...
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