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[学位论文] 作者：郭合忠,,
来源：华中科技大学 年份：2007
光刻机零部件动态特性及结构优化的研究是光刻机研发的重要内容之一。而主基板的工作性能以及在整个光刻机系统中所处的核心位置,就决定了它的动态特性已经影响到光刻机整机...
[期刊论文] 作者：郭玮,郭合忠,,
来源：西部交通科技 年份：2015
涡轮增压器蜗壳在周期性冷热交变的载荷下工作,容易产生热应力,导致蜗壳产生热机疲劳开裂,从而影响发动机性能甚至功能性失效。文章在传统的柴油发动机涡轮增压器研究的基础...
[期刊论文] 作者：陈学东,郭合忠,严天宏,余显忠,,
来源：中国机械工程 年份：2007
利用有限元分析理论和模态分析理论，分析了高分辨光刻机主基板的动态特性，分析结果表明主基板结构设计合理。结合模态试验，验证了主基板有限元模型的正确性。利用该有限元模型，进......
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