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应用于微型PCR芯片的微加热器特性研究
[期刊论文] 作者：王俊强,吴次南,张普,郭藏燃,刘泽文,, 来源：半导体技术 年份：2012
设计制作了一种应用于微型聚合酶链式反应(PCR)芯片的微加热器。然后按照PCR循环温度的要求,利用该加热器进行了PCR温度实验。微加热器采用与MEMS工艺兼容的溅射方法在Si基上...
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