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[学位论文] 作者：金会良,,
来源： 年份：2009
随着微电子技术和光学技术的飞速发展,超光滑表面的应用日益广泛,对超光滑表面质量的要求也越来越高。作为光学元件,为获得高反射率特别强调表面的低散射率或极低粗糙度值;作...
[学位论文] 作者：金会良,,
来源：哈尔滨工业大学 年份：2014
在以惯性约束聚变（ICF, Inertial Confinement Fusion）为代表的大型光学系统应用领域中，对光学元件的制造提出的要求和挑战日益增高，尤其对光学元件的使用性能提出了更严格的要求...
[期刊论文] 作者：金会良,王波,张飞虎,
来源：ChineseOpticsLetters 年份：2011
We investigate reactive fluorine atom spectroscopic characterization in atmospheric pressure of He/SF6 plasma using atomic emission spectrometry. As input radio frequency (RF) power levels are raised from 140 to 220 W, the emission spectra ......
[期刊论文] 作者：王东方,金会良,金江,王波,,
来源：航空精密制造技术 年份：2011
为了探究CF4/SF6反应气体及其含量对大气压等离子体的温度的影响规律,采用红外热像仪记录等离子体反应区域的温度。实验结果表明在系统输入功率为260W时,对于CF4气体,等离子...
[期刊论文] 作者：金江,李娜,徐录,王波,金会良,,
来源：光谱学与光谱分析 年份：2013
大气等离子体加工反应过程中，等离子体发生装置的热稳定过程对去除率有直接影响，CF4是化学反应中活性F^＊原子的提供者，O2是重要的辅助气体。为了寻找这三者对大气等离子体加工反......
[期刊论文] 作者：李娜,王波,金会良,袁野,杨允利,,
来源：光学精密工程 年份：2013
为了实现对微结构光学零件无表面损伤和亚表面损伤的高效加工，建立了大气等离子体数控加工系统。研究了该系统的平台设计、大气等离子体加工工艺特性及其数控加工过程。首先，根......
[期刊论文] 作者：赵玺,金会良,李娜,金江,王波,,
来源：航空精密制造技术 年份：2012
通过红外热像仪对大气压下等离子体加工熔石英中的氦气流量和加工时间进行温度分析,分别得到氦气流量与加工时间对等离子体温度的联系。实验得出随着氦气流量的增加,等离子体...
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