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[期刊论文] 作者：金伯清,
来源：电子器件 年份：1980
铝膜(或其它金属薄膜)通常是在真空条件下,加热蒸发铝材料并淀积到基片(硅片)表面形成的。传统的蒸发技术都是采用钨丝作为加热体,使铝熔化产生蒸汽蒸发,由于钨原料和钨丝的...
[期刊论文] 作者：金伯清,
来源：电子器件 年份：1980
近几年来,美国、日本研制和生产半导体器件的一些主要公司、实验室、都在对χ-射线光刻技术进行研究和改进,发展很快,已开始用于超大规模集成电路的试验性生产。 光刻技术是...
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