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[会议论文] 作者:钟国仿,李国华, 来源:'96中国材料研讨会 年份:1996
[期刊论文] 作者:钟国仿,吕反修, 来源:薄膜科学与技术 年份:1994
[期刊论文] 作者:臧建民,钟国仿, 来源:河北省科学院学报 年份:1997
本文介绍了在863新材料领域资助下最新研制成功的100KW级高功率直流等离子体喷射金刚石膜沉积系统,利用该系统在氩气-氢气-甲烷气体系中进行了初步的工艺试验,经过40小时的连续运行,在φ110mm的基......
[期刊论文] 作者:钟国仿,申发振, 来源:北京科技大学学报 年份:1999
研究直流电弧等离子体喷射比化学气相沉积金刚石系统中,基片温度对金刚石膜生长速率和质量的影响。实验发现,金刚石膜的生长速率和结晶性随基片温度的增加而境调增加。...
[期刊论文] 作者:李惠琪,钟国仿, 来源:北京科技大学学报 年份:1994
运用电磁学和热流体学的方法研究了直流大阳极喷嘴长电弧通道等离子体炬中电弧的行为,并通过实验证明了温度梯度与电场梯度作用于流体时所产生的特殊现象,结果表明:电弧弧柱的高......
[会议论文] 作者:臧建民[1]钟国仿[2], 来源:'96中国材料研讨会 年份:1996
该文介绍了在863新材料领域资助下最新研制成功的100kW级高功率直流等离子体喷射(DC Plasma Jet)金刚石膜沉积系统。利用该系统在氩气-氢气-甲烷气体系中进行了初步的工艺试验,经过40h的连续运行,可在φ......
[会议论文] 作者:钟国仿,申发振,黄天斌, 来源:1998年中国材料研讨会 年份:1998
研究了在直流电弧等离子体喷射化学气相沉积金刚石膜的方法中,工作气压、基片温度和甲烷浓度对金刚石薄膜生长速率和质量的影响,在优化工艺的条件下,以7 ̄10μm/h的速率制备出了白色(透明......
[期刊论文] 作者:钟国仿,申发振,唐伟忠,吕反修, 来源:北京科技大学学报 年份:1999
研究直流电弧等离子体喷射化学气相沉积金刚石膜系统中,基片温度对金刚石膜生长速率和质量的影响.实验发现,金刚石膜的生长速率和结晶性随基片温度的增加而单调增加,但是金刚石膜......
[期刊论文] 作者:黄天斌,刘敬明,唐伟忠,钟国仿,蒋政,吕反修, 来源:北京科技大学学报 年份:2000
研究了大面积金刚石膜沉积过程中的均匀性问题和金刚石膜质量的均匀性问题.研究表明:用于生长金刚石膜的大面积磁旋转等离子体电弧是均匀的,能使气体混合均匀:金刚石膜在形核阶段......
[期刊论文] 作者:黄天斌,刘敬明,钟国仿,唐伟忠,佟玉梅,吕反修, 来源:北京科技大学学报 年份:2000
讨论了在采用直流电弧等离子体喷射CVD工艺沉积大面积无衬底自支撑金刚石厚膜时遇到的若干技术问题.在制备过程中经常出现的膜炸裂现象,主要是由于膜和衬底材料线膨胀系数差异......
[期刊论文] 作者:吕反修,付一良,钟国仿,唐伟忠,杨连隐,佟玉梅, 来源:金属热处理学报 年份:1997
采用球环法研究了用大功率DCPlasmaJetCVD沉积的无衬底自支撑金刚石厚膜的断裂强度和断裂韧度,并试图探索其与原始显微组织特征(特别是晶粒度)的关系。发现CVD金刚石膜的强度和断裂韧度均远低于......
[期刊论文] 作者:唐才先,罗廷礼,张永贵,臧建民,潘存海,石尔平,吕反修,唐伟中,钟国仿,M.Samandi, 来源:河北省科学院学报 年份:1999
使用力驱动静态超微压痕测量仪器(Force Driven Static Measuring Ultra Micro-Indentation System)-UMIS-2000对由直流等离子体喷射法沉积的金刚石膜进行测量.结果显示金刚...
[期刊论文] 作者:臧建民,潘存海,唐才先,杜素梅,罗廷礼,张永贵,康增江,石尔平,王少岩,孙振路,郭辉,崔文秀,李国华,王志娜,吴晓波,臧怀壮,钟国仿,王豪,唐伟忠,吕反修, 来源:河北省科学院学报 年份:1997
本文介绍了在863新材料领域资助下最新研制成功的100kw级高功率直流等离子体喷射(DCPlasmaJet)金刚石膜沉积系统。利用该系统在氩气—氢气—甲烷气体系中进行了初步的工艺试验,经过40小时的连续运行,在......
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