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[学位论文] 作者：问明亮,
来源：浙江理工大学 年份：2011
高效率低成本的晶体硅太阳电池的制备对于大规模利用太阳能发电有着十分重要的意义。制备性能优良的减反射钝化薄膜是生产高效率低成本晶体硅太阳电池的重要工序之一。采用PE...
[期刊论文] 作者：蒋敏,问明亮,席珍强,
来源：浙江理工大学学报 年份：2012
对不同温度下PECVD沉积的α-SiCx：H薄膜进行750℃、30s的快速热处理性能研究，并利用紫外一可见一近红外分光光谱仪、光学膜厚测试仪和微波光电子衰减仪对样品反射率、折射率和...
[期刊论文] 作者：杨成林,梁萍兰,问明亮,席珍强,
来源：浙江理工大学学报 年份：2011
为了提高（111）锗片表面少子寿命,分别采用体积分数30%过氧化氢和硝酸作为氧化剂,对试样表面进行湿化学氧化,得到表面的氧化层。利用微波光电导衰减仪测量试样在氧化反应前后的...
[期刊论文] 作者：问明亮,周陈菊,杨成林,梁萍兰,席珍强,
来源：浙江理工大学学报 年份：2011
使用PECVD在p型单晶硅衬底上沉积非晶碳化硅薄膜,研究快速热处理对薄膜的钝化性能和光学性能的影响。结果显示：随着热处理温度从450℃升高到850℃,薄膜厚度迅速减小;在650℃及...
[期刊论文] 作者：张瑞丽, 杜红文, 张亚萍, 杜平凡, 问明亮, 张秀芳, 席珍,
来源：浙江理工大学学报 年份：2010
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[期刊论文] 作者：张瑞丽,杜红文,张亚萍,杜平凡,问明亮,张秀芳,席珍强,,
来源：浙江理工大学学报 年份：2010
利用正交实验方法,探讨PECVD法制备碳化硅薄膜沉积参数变化对其减反射性能的影响,并进一步研究不同沉积参数对薄膜沉积速率和折射率的影响规律。结果表明,沉积参数中衬底温度...
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