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[期刊论文] 作者:阚希文,, 来源:物理测试 年份:1991
在离子注入过程中有许多重要的效应发生,热效应是其中之一。热效应导致离子注入层和被注入基体材料温度的升高。注入样品的温升状况对离子注入效果有非常重要的影响。不同的...
[期刊论文] 作者:阚希文, 来源:微细加工技术 年份:1991
本文评述了在金属材料领域中应用离子注入技术的现状;阐明了提高离子注入效益的一条新途径:不仅以离子注入技术改变工模具的性能,延长其使用寿命,而且以离子注入技术来显著提...
[期刊论文] 作者:阚希文, 来源:微细加工技术 年份:1991
在金属材料(轴承钢、铝、钛)中注入不同剂量的氮离子,用称重法测量被注材料抗磨粒磨损性能的改善状况。当注入剂量达到10~(17)/cm~2时,此性能有所改善。在(2~5)×10~(17)/...
[期刊论文] 作者:阚希文, 来源:微细加工技术 年份:1990
本文对离子注入重要效应之一的抛光效应产生机理、一些试验结果及其在微细加工中的应用做了较深入的探讨。...
[期刊论文] 作者:阚希文, 来源:微细加工技术 年份:1992
本文在理论和试验两个方面探讨了离子注入中的热效应和温升现象。注入样品的温升对离子注入层的性能有直接影响。分析了理论计算注入样品温升的一些情况。给出了实际测量注入...
[期刊论文] 作者:丁国庆,阚希文, 来源:半导体学报 年份:1987
本文报告了采用全离子注入技术制作的p~+n平面型结构的Ge-APD,保护环注Be~+,P+层注B~+(或In~+)形成.测量结果表明,击穿电压Vs在37至50伏,光敏面直径为90μm,在0.9V_B下,带尾...
[期刊论文] 作者:阚希文,程肃之,, 来源:北京师范大学学报(自然科学版) 年份:1990
以离子注入技术处理拉丝模,然后用注入过的拉丝模拉拔贵重金属丝(例如钽丝),能够显著提高金属丝的表面质量.在工业生产线上做了一些对比试验.SEM 分析和光学仪器测试证明了上...
[期刊论文] 作者:阚希文,程肃之, 来源:机械工程材料 年份:1991
离子注入技术不仅能改变材料的表面性能,电能够提高金属产品质量。用离子注入处理的拉丝模拉拔金属丝材(例如钽丝),其质量显著提高。我们做了工业生产线上的对比试验。上述效...
[期刊论文] 作者:程肃之,花礼先,阚希文,, 来源:物理测试 年份:1990
丝材是用拉丝模以拉拔方法生产出来的。由于拉拔时被拉拔材料与模孔的压缩区和定径区的内表面之间的磨损(粘着磨损和磨粒磨损)作用,被拉拔出来的丝材表面必然满布微观的...
[期刊论文] 作者:阚希文,王文勋,马明修,吴猛,, 来源:北京师范大学学报(自然科学版) 年份:1983
制作大规模集成电路要求低能量、大束流的注入。为了适应这一工作的需要,我们在400keV离子注入机上采取了使离子束在较高能量下传输,在靶附近再把能量降低的方法,这种方...
[期刊论文] 作者:张胜基,施修龄,潘世友,彭建华,阚希文, 来源:原子核物理评论 年份:1997
一台金属等离子体软X光源在北京师范大学低能核物理所建成.为该光源配套研制了一台高频、高压恒流充电电源.该光源工作波长为0.8~2nm,单脉冲能量大于10J.A metal-soft plasma X-ray source......
[期刊论文] 作者:张通和,姬成周,阚希文,沈京华,谭福进,陈俊,杨建华, 来源:核技术 年份:1991
锡注入H13钢,使表面摩擦系数下降一倍,磨损率也有所下降。扫描电镜观察表明,被磨过的注入层表面光滑。背散射分析表明,注入过程中锡出现明显的增强扩散现象,锡浓度分布比理论...
[期刊论文] 作者:张国良,林文廉,阚希文,刘双,陈余长,叶凤山,赵本海,朱鸿光,, 来源:北京师范大学学报(自然科学版) 年份:1985
用不同能量和剂量的氮离子注入了40多个金刚石拉丝模,在工厂实际生产条件下进行拉丝对比试验,注入的模子寿命平均为未注入的模子寿命的2—3倍。本文还对注入氮的金刚石试样进...
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