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期刊论文
关于离子注入中温升的探讨
关于离子注入中温升的探讨
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:limeng668
【摘 要】
:
本文在理论和试验两个方面探讨了离子注入中的热效应和温升现象。注入样品的温升对离子注入层的性能有直接影响。分析了理论计算注入样品温升的一些情况。给出了实际测量注入
【作 者】
:
阚希文
【机 构】
:
北京师范大学低能核物理所北京100875
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
1992年1期
【关键词】
:
离子注入
热效应
温升
Ion implantation
Thermal effects
Temperature rise
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本文在理论和试验两个方面探讨了离子注入中的热效应和温升现象。注入样品的温升对离子注入层的性能有直接影响。分析了理论计算注入样品温升的一些情况。给出了实际测量注入样品温升的几种试验方法。阐明了控制注入样品温升的若干可能途径。
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