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[期刊论文] 作者：顾福庆,陈关夫,杨德山,
来源：有色冶炼 年份：1983
前言直拉硅单单晶中常用的掺杂元素有磷P、硼B、砷As、锑Sb等。众所周知N型硅单晶是采用P、As、Sb三种元素作为掺杂剂,P型硅单晶是利用元素B作为掺杂剂。随着电子工业的发展...
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