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[期刊论文] 作者：黄炳忠,陈土培,
来源：分析测试通报 年份：1989
本文讨论了利用棉偏光谱法测量很薄固体膜的光性的原理和方法,包括椭偏计算模型的建立、模型的合适性等问题,考察了环境介质-薄膜-衬底三根系统和环境介质-薄膜-界面过渡层-...
[期刊论文] 作者：陈土培,黄炳忠,
来源：半导体学报 年份：1989
本工作利用椭偏光谱法研究Pt-Si系统的界面状况,结果指出,未经任何热处理的Pt/n-Si样品的界面上存在着一性质上异于Si衬底和Pt膜的界面层,但经700℃退火(固相反应)形成硅化物...
[期刊论文] 作者：陈土培,黄炳忠,
来源：半导体学报 年份：1989
本工作利用椭偏光谱法研究Pt-Si系统的界面状况,结果指出,未经任何热处理的Pt/n-Si样品的界面上存在着一性质上异于Si衬底和Pt膜的界面层,但经700℃退火(固相反应)形成硅化物...
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