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[会议论文] 作者:陈良铜, 来源:第九届中国国际洁净技术论坛 年份:2006
外气补给风量、除湿风量、冷却风量与洁净风量之多寡,会影响到适当之系统设计,晶圆厂与TFT/LCD厂之外气补给风量很大,因此皆以MAU负责湿度控制,封装测试厂之冷却风量远大于洁...
[会议论文] 作者:陈良铜,王文博, 来源:第五届海峡两岸制冷空调技术交流会 年份:2001
由于地球温室效应来势凶凶,廿一世纪将是节能减发世代,半导体厂是主要电能用户,半导体洁净空调必须引入大量外气来满足大量制程排气与洁净室坚之维护,外气空调箱(MAU)之实质...
[会议论文] 作者:王文博,陈良铜, 来源:第五届海峡两岸制冷空调技术交流会 年份:2001
电子厂之湿气负荷虽然非常小,但由于制程排气与洁净室正压化之需求,必须引入足够之外气量.台湾地区之外气露点温度,虽然绝大部分时间均高于电子厂洁净室之湿度要求,但一年之间总有数天气温特别低,使得外气必须先经加湿后才可送入洁净循环系统.故在干燥季节或冬......
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