搜索筛选:
搜索耗时6.8568秒,为你在为你在102,285,761篇论文里面共找到 1 篇相符的论文内容
发布年度:
[会议论文] 作者：陈迪[1]雷蔚[1]王水[1]张大成[2]伊福廷[3]李昌敏[1]郭晓芸[1]毛海平[1],
来源：第四届全国微米/纳米技术学术会议 年份：2000
本文利用ICP硅深层刻蚀工艺,制备了一种全新的LIGA掩模板.与一般的LIGA掩模板比较,该掩模板的最大特色在于其支撑层和吸收层都是由硅材料构成,支撑层与吸收层之间没有结合力...
相关搜索：
