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[学位论文] 作者：顾晓渝,
来源：清华大学 年份：1996
该文对基于电视图象扫描原理的线宽测量系统进行了实用化研究,论述了系统的测量原理和边缘探测算法,给出了典型样品的实验结果及误差分析.为了进一步完善系统的自动调焦功能,...
[期刊论文] 作者：高宏,李庆祥,薛实福,顾晓渝,
来源：仪器仪表学报 年份：1995
本文提出了一种对机械振动等环境干扰不敏感的高分辨率光学轮廓仪，应用Ｎｏｍａ－ｒｓｋｉ微分干涉显微成象原理和相移干涉技术，实现了对表面微观轮廓的高精度绝对测量。仪器不需要标准参考反射镜......
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