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[期刊论文] 作者：颜彩蘩,李增发,
来源：光电子．激光 年份：1998
检测硅抛光片及硅外延片中的生长管道和星形结构缺陷，常规的方法是化学腐蚀法。该广阔产片有破坏性，本文介绍一种检测硅片中生长管道和星形结构缺陷的新方法－“魔镜”检测方法。......
[期刊论文] 作者：颜彩蘩,王宏杰,
来源：光电子．激光 年份：1999
本文报道应用古代“魔镜”成像原理和现代激光技术发展起来的一种新的光反射“魔镜”检测技术。采用这项技术可以非常直观，方便地观测到直径小于１５０ｍｍ的硅抛光片及硅外延片表面存在......
[期刊论文] 作者：颜彩蘩,李增发,李训普,张光寅,王宏杰,
来源：光电子·激光 年份：1999
本文报道应用古代“魔镜”成像原理和现代激光技术发展起来的一种新的光反射“魔镜”检测技术。采用这项技术可以非常直观、方便地观测到直径小于１５０ｍｍ的硅抛光片及硅外延片表面存......
[期刊论文] 作者：颜彩蘩,李增发,张光寅,王宏杰,张福祯,
来源：光电子·激光 年份：1998
检测硅抛光片及硅外延片中的生长管道和星形结构缺陷，常规的方法是化学腐蚀法。该方法对样片有破坏性。本文介绍一种检测硅片中生长管道和星形结构缺陷的新方法——“魔镜”检......
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