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[期刊论文] 作者:许建光,谢明贵,马如椿,李龄远,杜贵生, 来源:四川大学学报(自然科学版) 年份:1980
利用冠醚对金属离子所具有的选择性络合作用,用于晶体管生产中硅片表面的清洗,取得了初步结果。经冠醚的甲苯溶液处理过的晶体管,反向击穿电压大大提高,这有助于硅晶体管产品...
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