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[期刊论文] 作者：高寿祖,,
来源：惯性世界 年份：2004
微加工方法类别微机电系统(MEMS)的制造技术,无论微型惯性测量组合(MIMU),或是其它应用领域的各种MEMS,均涉及到其各主要组成单元的设计、材料、微加工、测试、控制等有关技...
[期刊论文] 作者：高寿祖,,
来源：惯性世界 年份：1996
《惯性世界》杂志的读者大概都能说出惯性仪表、惯性系统等的含义。也都知道惯性技术的应用领域及其重要作用。在民用方面:它可应用于标定地面经纬度、民航客机的空中导航、...
[期刊论文] 作者：高寿祖,,
来源：惯性世界 年份：1998
过去曾介绍过微米/纳米技术的基本知识,特别是MEMS(微机电系统)的应用与有关微加工方法。今天,随着惯性系统及仪表的体积不断向小型化发展,MIMU已越来越成为一种有着广阔应...
[期刊论文] 作者：高寿祖,,
来源：惯性世界 年份：1997
八十年代以来,美、日、西欧等一些国家十分重视微型机电系统(MEMS)的应用研究工作,并投入了大量人力物力,目前已取得许多成果,有成百种产品可实用或接近实用,其中有些已作为...
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