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[期刊论文] 作者：麻莳立男,黎辉,,
来源：半导体情报 年份：2004
现在,以半导体集成电路为代表的微电子元件所用的微细图形,是由以照相技术和化学腐蚀为中心的工艺完成的。但是,化学腐蚀具有如下的问题:(1)最近,由于图形向微细化发展,既使...
[期刊论文] 作者：麻莳立男,翁国屏,
来源：真空 年份：1978
1.前言 可称为溅射离子泵(以下简称离子泵)的前驱Gurewitsch和 Westendorp(1)在 “给编 辑一封信中”命名的。Ionic Pump”是在1954年发表的,距离现在已经23年了。也许因...
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