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[学位论文] 作者：默哈默德 阿里,
来源：北京航空航天大学 年份：2003
该文研究一种新型的谐振式硅微结构传感器.它的基本传感部件是E型圆膜片,最终传感部件是连接到E型圆膜片上的光束谐振器.它的内容是含有介绍硅集中力传感器的背景知识.研究了...
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