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该文研究一种新型的谐振式硅微结构传感器.它的基本传感部件是E型圆膜片,最终传感部件是连接到E型圆膜片上的光束谐振器.它的内容是含有介绍硅集中力传感器的背景知识.研究了它的整个机制,有限之建模与仿真计算等方面.该文具有一定的理论意义.
硅微结构集中力传感器的建模与仿真
【摘 要】
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该文研究一种新型的谐振式硅微结构传感器.它的基本传感部件是E型圆膜片,最终传感部件是连接到E型圆膜片上的光束谐振器.它的内容是含有介绍硅集中力传感器的背景知识.研究了
【机 构】
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北京航空航天大学
【出 处】
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北京航空航天大学
【发表日期】
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2003年期
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