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[期刊论文] 作者：丁瑞钦,曾庆光,陈毅湛,朱慧群,丁晓贵,齐德备,,
来源：人工晶体学报 年份：2010
在前期通过n^＋-Si衬底中的磷向沉积于其上面的ZnO薄膜的扩散制备高掺磷p型ZnO薄膜的研究基础上,探索了较有普遍应用意义的扩散法制备p型ZnO薄膜的磁控溅射工艺。结果表明,当磁...
[期刊论文] 作者：丁瑞钦,陈毅湛,朱慧群,黎扬钢,丁晓贵,杨柳,黄鑫钿,齐德备,
来源：人工晶体学报 年份：2008
本文报道溅射工艺、退火工艺和冷却方式对磷扩散法制备的p型ZnO薄膜的微观结构和电学特性的影响的实验研究。研究结果表明，ZnO薄膜的表面形貌、结晶度、内应力以及电学特性均...
[期刊论文] 作者：陈毅湛,丁瑞钦,朱慧群,黎扬钢,丁晓贵,杨柳,黄鑫钿,齐德备,
来源：五邑大学学报：自然科学版 年份：2008
报道了几种不同的P型ZnO薄膜的制备工艺对其薄膜微观结构的影响．结果表明：ZnO薄膜的结晶度、C轴取向程度、内应力均与制备工艺条件有密切的关系，并对这些关系的机理做了分析和探......
[期刊论文] 作者：丁瑞钦,陈毅湛,朱慧群,黎扬钢,丁晓贵,杨柳,黄鑫钿,齐德备,
来源：人工晶体学报 年份：2004
本文报道溅射工艺、退火工艺和冷却方式对磷扩散法制备的P型ZnO薄膜的微观结构和电学特性的影响的实验研究.研究结果表明,ZnO薄膜的表面形貌、结晶度、内应力以及电学特性均...
[期刊论文] 作者：丁瑞钦,陈毅湛,朱慧群,黎扬钢,丁晓贵,杨柳,黄鑫钿,齐德备,谭军,,
来源：人工晶体学报 年份：2008
本文报道溅射工艺、退火工艺和冷却方式对磷扩散法制备的p型ZnO薄膜的微观结构和电学特性的影响的实验研究。研究结果表明,ZnO薄膜的表面形貌、结晶度、内应力以及电学特性均...
[期刊论文] 作者：陈毅湛,丁瑞钦,朱慧群,黎扬钢,丁晓贵,杨柳,黄鑫钿,齐德备,谭军,,
来源：五邑大学学报（自然科学版） 年份：2008
报道了几种不同的p型ZnO薄膜的制备工艺对其薄膜微观结构的影响.结果表明:ZnO薄膜的结晶度、C轴取向程度、内应力均与制备工艺条件有密切的关系,并对这些关系的机理做了分析...
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