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[期刊论文] 作者：齐芊枫,
来源：电子工业专用设备 年份：2021
为了提高复杂集成电路装备制造质量,介绍了一款适用于集成电路装备制造的智能化装配平台.通过智能调度系统,将不同功能模块组合成可以完成不同生产模式的柔性装配平台,在光刻机精密运动台装配中使用,可提高装配的一致性和质量,实现了闭环装配与数字化装配,提升......
[期刊论文] 作者：齐芊枫,方洁,吴立伟,夏海,
来源：电子工业专用设备 年份：2012
光刻机工件台的小型重力补偿器是光刻技术中关于硅片调焦调平的关键技术，其性能直接影响机器焦深误差。针对一种主动小型重力补偿器展开研究，给出了机械结构、驱动电机和隔振性......
[期刊论文] 作者：周超,芮晓明,柳亦兵,齐芊枫,
来源：振动．测试与诊断 年份：2012
在分析电晕放电激振机理的基础上,基于有限单元法和Newmark积分法建立了输电线路风雨激振有限元分析模型。基于试验和数值分析方法,以输电线型号LGJ-240的相关参数为参考,分...
[期刊论文] 作者：齐芊枫,郑椰琴,吴立伟,方洁,董俊清,,
来源：电子工业专用设备 年份：2011
通常,在半导体设备刚性结构设计中要求零部件有很高的加工制造精度和装配精度,同时易传递振动、热等,并容易引入附加的力和转矩。为降低质量和成本,并提高工作性能,目前在工...
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