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[期刊论文] 作者：ＭａｓａｆｕｍｉＫａｎｅｔｏｍｅ,一目,
来源：电子工业专用设备 年份：1998
在超高真空中应用的片子传输机械手ＭａｓａｆｕｍｉＫａｎｅｔｏｍｅ等著一目译一种新的极坐标式机械手，是为了在超高真空环境中进行薄膜生长而开发的。它采用可在真空中工作的无摩擦力的簧片结构，由置于真空环......
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