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[期刊论文] 作者：A.Meulenberg Jr.,李开成,
来源：微电子学 年份：1986
在将来的微电子器件中,有源区的面积可能缩小到1μm~2以下。本文提出了一种单个高能离子可能永久地损伤、甚至完全破坏这种微电子器件的机理。用扫瞄电子显微镜(扫瞄电子显微...
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