【摘 要】
：
在将来的微电子器件中,有源区的面积可能缩小到1μm~2以下。本文提出了一种单个高能离子可能永久地损伤、甚至完全破坏这种微电子器件的机理。用扫瞄电子显微镜(扫瞄电子显微
论文部分内容阅读
在将来的微电子器件中,有源区的面积可能缩小到1μm~2以下。本文提出了一种单个高能离子可能永久地损伤、甚至完全破坏这种微电子器件的机理。用扫瞄电子显微镜(扫瞄电子显微镜按电子束感应电导率模式工作),已从实验上证实了这种机理。该实验证明了注入到硅中的各个磷离子引起的损伤。已观察到这种损伤的载流子俘获截面,其面积为0.5至0.8μm~2。
In future microelectronic devices, the area of the active region may be reduced to less than 1 μm. This paper presents a mechanism by which a single high-energy ion may permanently damage or even completely destroy such microelectronic devices. This mechanism has been experimentally confirmed with a scanning electron microscope (scanning electron microscope operating in electron beam induced conductivity mode). This experiment demonstrates the damage caused by each phosphorus ion injected into the silicon. A carrier capture section of this lesion has been observed with an area of 0.5 to 0.8 μm 2.
其他文献
随着我国教育事业的不断发展,教育改革的不断深化,“科教兴国”、“人才强国”战略的提出,教育越来越成为人们关注的重点问题。高职英语是高职院校教学过程中的重点学科,目前
一、概述在用雷达测量飞行物体速度的过程中,最大距离是由若干因素确定的。这可由雷达方程 R_(max)=(P_T·G~2·λ~2/P_E·A)~(1/4)来描述。式中P_T为发射机的输出射频功率;
在全国学习贯彻毛主席关于理论问题、加强学习无产阶级专政,反修防修重要指示的大好形势下,闽西北地区国外松引种技术协作第三次会议,于一九七五年七月二十二日在顺昌县召开
一、前言虽然近廿多年来,对这个系统的导电机理已有不少作者进行过研究,但是至今仍有一些问题不清、机理不明。引起这种简况的原因有以下一些。(1)在结构上,Ta-Ta_2O_5—对
红外热成象无损检测方法通过测量物体表面的温度场来确定物体内部结构、性质及缺陷状态,具有灵敏度高、响应速度快、温度测量范围宽、实时观察、检测速度快、照相记录、录象
孔子曰：教学相长。一语道破教与学的真正内涵：互相协调。共同促进。因此，教师除了注重自己的教以外，更应注重学生的学。把学生当作教育的主体。现代教学论认为，教学的过程归根结底
本文通过课程目标的重新审视,以及项教学在增强学生体质中存在问题的分析,提出加强体育与健康基础知识的教学;确保体育课堂教学的有效性;有针对性地安排身体素质练习;发展耐
越南国会最近一直在讨论一项关于加强药价控制的新法规。根据目前的草拟议案,越南政府将承诺其国内的药价不高于周边国家。另外,有一代表提议此项新法规应该规定所有的药店在
伊拉克石油部宣布了与外国公司签订长期合同的6个招标油田的名单.它们是Rumailah、Kirkuk、Zubair、West Qurna Phase 1、Bai Hassan和Maysan油田,Maysan油田包括Bazargan、A
本文介绍各种高频场及低频场对人体的危害影响、某些场强的计算方法、房屋的屏蔽作用以及相关的防护措施,并呼吁有关方面加速这方面的科研工作。
This article describes th