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[期刊论文] 作者:AlecMakdessian,吴忠编, 来源:今日电子 年份:2002
目前,大多数硅压阻传感器(PRT)用于压力测量,它们通过应用广泛的微型加工技术进行组装,通常采用4个电阻桥臂构成典型的惠斯通电桥,安装在单芯片。与集成电路类似,由于单个晶片...
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