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[期刊论文] 作者：张发荣,张晓丹,Amanatides E,Matras D,,
来源：光电子．激光 年份：2008
建立二维流体模型，研究甚高频等离子体化学气相沉积（VHF-PEVCVD）高速沉积氢化微晶硅（μc-Si2H）薄膜。模型采用平行电容耦合放电方式。模拟条件与实验条件相同，均为甚高频（70MHz）、高H......
[期刊论文] 作者：张发荣,张晓丹,AMANATIDES E,赵颖,
来源：发光学报 年份：2019
为了加深对等离子体增强化学气相沉积的认识,采用增强型电荷耦合器件(ICCD)研究了氢气及氢气/硅烷混合气体在不同气压条件下的时间分辨光发射谱,获得了辉光放电等离子体瞬态...
[期刊论文] 作者：张发荣,张晓丹,Amanatides E,Matras D,,
来源：光电子·激光 年份：2004
建立二维流体模型,研究甚高频等离子体化学气相沉积(VHF-PEVCVD)高速沉积氢化微晶硅(μc-Si:H)薄膜.模型采用平行电容耦合放电方式. 模拟条件与实验条件相同,均为甚高频(70 M...
[期刊论文] 作者：张发荣,张晓丹,Amanatides E,Mataras D,赵静,赵颖,,
来源：物理学报 年份：2008
采用空间分辨光发射谱和傅里叶变换功率阻抗分析仪研究了衬底偏压和辉光功率对微晶硅薄膜沉积过程中的等离子体光学与电学特性的影响.研究表明:在交流偏压(AC)、悬浮(floatin...
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