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[期刊论文] 作者：B.H.Jestice,李忠义,
来源：微电子学 年份：1985
本文介绍了一种新型的旋涂硼掺杂剂。这种掺杂剂是根据硼-氮的化学性质制作出来的,它不同于根据硼-氧化学性质制作的常规旋涂硼掺杂剂。这种新的掺杂剂具有所有旋涂掺杂剂的...
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