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[期刊论文] 作者：Margarete Zoberbier,Erwin Hell,Kathy Cook,Marc Hennemayer,Barbara Neubert,,
来源：电子工业专用设备 年份：2010
目前,3D集成技术的优势正在扩展消费类电子产品的潜在应用进入批量市场。这些新技术也在推进着当前许多生产工艺中的一些封装技术包括光刻和晶圆键合成为可能。其中还需要涂...
[期刊论文] 作者：Barbara Neubert,Ralph Zoberbier,,
来源：电子工业专用设备 年份：2009
三维集成的技术优势正在延伸到大量销售的诸如消费类电子设备潜在应用的产品领域。这些新技术也在推进着当前许多生产工艺的包封能力,其中包括光刻工艺和晶圆键合。> 还需要...
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