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[期刊论文] 作者：StephenTerry,BobSwafford,HaroldJosheph,陈辰,
来源：电子产品世界 年份：1996
简介ＭＥＭＳ（微型机电系统）自八十年代以来就应用于医疗行业，在各种硅压力传感器、加速度传感器和定制的微结构应用中大显身手。ＭＥＭＳ器件与其他技术相比有许多优点。它们尺寸小，性能可靠，价格......
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