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[期刊论文] 作者：汪辉,朱建军,王国宏,Bruynseraed C,Maex,
来源：半导体学报 年份：2005
不同化学机械抛光剂使单层大马士革Cu导线表面起伏程度不同．扫描电镜观察到明显的缺陷出现在大起伏的Cu导线表面．这种表面缺陷导致早期失效比率剧增至几乎100％，电迁移寿命猛降至......
[期刊论文] 作者：汪辉,朱建军,王国宏,Bruynseraed C,Maex,
来源：半导体学报 年份：2004
不同化学机械抛光剂使单层大马士革Cu导线表面起伏程度不同.扫描电镜观察到明显的缺陷出现在大起伏的Cu导线表面.这种表面缺陷导致早期失效比率剧增至几乎100%,电迁移寿命猛...
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