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[期刊论文] 作者：P.K.Boyer,C.A.Moore,R.Solanki,G.A.Roche,Ceorce J.Collins,孙建诚,,
来源：微电子学与计算机 年份：1988
准分子激光器被用于在低温下(I100-350℃)光化学淀积二氧化硅、氮化硅、氧化铝和氧化锌薄膜实验表明淀积速率可超过3000/min,并且淀积薄膜均匀地覆盖在陡峭的台阶上.这种薄...
[期刊论文] 作者：郁曾期,胡英,杜元成,郑思定,C.A.Moore,G.J.Collins,
来源：中国激光 年份：1985
用激光喇曼光谱仪测量样品的斯托克斯和反斯托克斯散射线的相对光强之比.可以得到样品表面的局部温度.温度数值直接由导出公式计算而得,无需定标.它特别适用于表面物理和集成电路新工艺开发研究.文中还就该方法的误差进行了讨论和实验修正.......
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