• 不限
  • 期刊论文
  • 硕博论文
  • 会议论文
  • 报 纸
  • 英文论文
搜索筛选:
搜索耗时4.4393秒,为你在为你在102,285,761篇论文里面共找到 2 篇相符的论文内容
类      型:
全部 期刊 学位 会议 报纸 英文
发布年度:
全部 2024 2023 2022 2021 2020 2019 2018 2017 2016 2015 2014 2013 2012 2011 2010 2009 2008 2007 2006 2005 2004 2003 更早
排序方式:
相关性 最新发表 最早发表
AS离子注入硅化钛自对准MOS器件技术研究
[期刊论文] 作者：周世芳,李炳宗,Paul Chu,Clive M.Jones, 来源：电子学报 年份：1991
本工作研究了同时形成polycide栅,源/漏硅化钛接触和浅PN结的MOS器件制造技术。实验结果表明,通过硅化钛薄膜注入As,并利用NH_3等离子体辅助热退火(NPTA)工艺,可制备性能良好...
As离子注入硅化钛自对准MOS器件技术研究
[期刊论文] 作者：周世芳,李炳宗,Paul Chu,Clive M.Jones, 来源：电子学报 年份：1991
本工作研究了同时形成polycide栅,源/漏硅化钛接触和浅PN结的MOS器件制造技术。实验结果表明,通过硅化钛薄膜注入As,并利用NH_3等离子体辅助热退火(NPTA)工艺,可制备性能良好...
相关搜索：